چکیده: در این پایان نامه ریخت شناسی، خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک ZnS رشد داده شده به روش های سل-ژل و تجزیه گرمایی افشانه ای را بر روی زیرلایه شیشه مورد بررسی قرار داده ایم. در این مطالعه از دستگاه های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش اشعه X (XRD) و طیف سنجی (UV-VIS) استفاده کرده ایم. در نمونه های رشد یافته به روش سل-ژل اثر دمای خشک سازی بر روی خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک ZnS مورد بررسی قرار گرفته است. بررسی طیف XRD ثبت شده برای نمونه های تهیه شده به روش سل-ژل چرخشی نشان داد که ساختار همه نمونه ها آمورف است. طیف تراگسیل، عبور متوسط 90% از این نمونه ها را نشان می دهد. در نمونه های رشد یافته به روش تجزیه گرمایی افشانه ای اثر دمای زیرلایه، آهنگ شارش محلول و اثر ناخالصی آلومینیوم بر روی خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک ZnS مورد بررسی قرار گرفته است. طیف های XRD ثبت شده از همه ی نمونه های تهیه شده به روش تجزیه گرمایی افشانه ای، تشکیل ساختار مکعبی سولفید روی با راستای ترجیحی (111) را تایید نمودند. تصاویر FESEM نمونه ها نشان دادند که سطح زیرلایه با لایه ی یکنواختی از سولفید روی که دارای ساختار دانه ای است پوشیده شده است. بررسی اثر دمای زیرلایه نشان داد که نمونه تهیه شده در دمای 500 نسبت به سایر نمونه ها دارای ساختار بلوری بهتر و اندازه دانه ی بزرگتری است. با افزایش دمای زیرلایه گاف نواری نمونه ها از eV 8/3 به eV 5/3 کاهش می یابد. بررسی اثر آهنگ شارش محلول نشان داد که این پارامتر روی خواص ساختاری و اپتیکی نمونه ها تاثیر قابل ملاحظه ای دارد. با افزایش آهنگ شارش محلول، عبور متوسط نمونه ها به طور محسوسی کاهش و گاف نواری مستقیم نمونه ها نیز حدود meV 200 کاهش می یابد. بررسی اثر آلایش Al نشان داد که با افزایش الایش Al تا 5% وزنی، عبور در نمونه ها افزایش و با افزایش بیشتر از این مقدار (تا 9%) عبور کاهش می یابد.