چکیده: در این پایان نامه خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک سلنید روی (ZnSe) که به روش تجزیه گرمایی افشانه ای بر روی زیرلایه های شیشه ای رشد داده شدند، مورد بررسی قرار گرفته است. سپس اثر پارامترهای گوناگون رشد مانند: آهنگ شارش محلول انباشت (4، 8 و ml/min10)، حجم محلول انباشت (50، 75 و ml100 )، دمای زیرلایه ( 380، 400 و °C420 ) و عملیات بازپخت و همچنین حضور ناخالصی آلومینیوم بر روی خواص ساختاری و اپتیکی آنها مورد بررسی قرار گرفتند. برای بررسی خواص ساختاری نمونه ها از تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) و پراش سنج اشعه ایکس (XRD) استفاده شد. برای بررسی خواص اپتیکی نمونه ها از اندازه گیری طیف عبور با یک دستگاه طیف سنج نوری (UV-Vis) استفاده گردید. طیف های XRD ثبت شده از نمونه ها، تشکیل ساختار مکعبی سلنید روی با راستای ترجیحی (111) را تایید نمود. بررسی اثر آهنگ شارش محلول نشان داد که این پارامتر بر خواص ساختاری و اپتیکی نمونه ها تاثیر قابل ملاحظه ای دارد بطوریکه با افزایش آهنگ شارش محلول، ساختار نمونه ها از حالت چند بلوری به آمورف تبدیل شده و گاف نواری مستقیم نمونه ها حدود meV 130 افزایش می یابد. کاهش حجم محلول نیز موجب کاهش بلورینگی نمونه ها و افزایش گاف نواری می شود. بررسی اثر دمای زیرلایه و بازپخت نشان داد که نمونه تهیه شده در دمای 400 نسبت به سایر نمونه ها دارای ساختار بلوری بهتر و اندازه بلورک بزرگتری است. تصاویر FESEM ثبت شده از سطح نمونه ها نشان داد که تحت عملیات بازپخت اندازه دانه ها نسبت به قبل از بازپخت افزایش یافته است. همچنین تحت عملیات بازپخت عبور متوسط و گاف نواری نمونه ها به طور محسوسی کاهش می یابد. بررسی اثر آلایش Al نشان داد که با افزایش آلایش تا 3% وزنی، عبور اپتیکی و همچنین اندازه بلورک ها افزایش یافته و سپس با افزایش بیشتر آلایش تا 7%، عبور و اندازه بلورک ها کاهش می یابد.