چکیده: در این پایان نامه ابتدا لایه های نازک سلنیدروی (ZnSe) به روش تجزیه گرمایی افشانه ای رشد داده شده اند. سپس اثر پارامترهای مختلفی مانند دمای لایه نشانی، آهنگِ شارش محلول، نسبت وزن مولی سلنیوم دی اکساید به کلریدروی، میزان حجم محلول اسپری، دمای بازپخت و همچنین مدت زمان آن بر ساختار بلوری و خواص اپتیکی لایه های تهیه شده بررسی شده است. بررسی اثر دمای لایه نشانی نشان می دهد که نمونه تهیه شده در دمای 420 درجه سانتیگراد نسبت به دو نمونه دیگر از ساختار بلوری با کیفیت بهتری برخوردار است. همچنین انداره دانه ها در این دما افزایش یافته است. بررسی اثر آهنگ شارش محلول نشان می دهد که نمونه تهیه شده با آهنگ cc/min6 نسبت به دو نمونه دیگر از لحاظ ساختاری و همچنین مورفولوژی سطح از کیفیت بهتری برخوردار است. بررسی اثر نسبت وزن مولی سلنیوم دی اکساید به کلریدروی تأثیر قابل ملاحظه ای بر خواص اپتیکی نمونه ها ندارد. لیکن در این تحقیق از نسبت مولی 1:1 استفاده شده است. بررسی تأثیر دما و زمان عملیات بازپخت روی خواص فیزیکی لایه های نازک سلنیدروی نشان می دهد که نمونه بازپخت شده در زمان 60 دقیقه نسبت به سایر نمونه ها از کیفیت بیشتری برخوردار است. همچنین مقدار گاف نواری بدست آمده برای این نمونه با گزارش های دیگران توافق بیشتری دارد. لذا زمان بازپخت مناسب، زمان 60 دقیقه و دمای بازپخت مناسب °C400 می باشد. بررسی عملیات بازپخت روی خواص فیزیکی نمونه های تهیه شده با آهنگ های انباشت مختلف نتیجه می دهد که نمونه تهیه شده با آهنگ cc/min6 قبل و بعد از بازپخت در دمای C°400 نسبت به نمونه تهیه شده با آهنگ cc/min4 دارای خواص ساختاری با کیفیت بیشتری است. لیکن نمونه تهیه شده با آهنگ cc/min4 از لحاظ خواص اپتیکی کیفیت بیشتری دارد. مطالعه اثر حجم محلول اسپری ، همانند اثر نسبت مولی، تغییر چندانی بر روی خواص ساختاری و اپتیکی نمونه ها ندارد. نتایج بدست آمده نشان می دهد که پارامترهایی مانند دمای لایه نشانی، آهنگ شارش محلول، دمای بازپخت و مدت زمان آن تأثیر قابل ملاحظه ای بر خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک سلنیدروی دارد.