چکیده: در این پایان نامه ابتدا لایه های نازک استنات کادمیم (Cd2SnO4) خالص به روش تجزیه گرمایی افشانه ای رشد داده شدند. سپس اثر پارامترهای مختلفی مانند دمای لایه نشانی، آهنگِ شارش محلول، فاصله نازل افشانه از زیرلایه، میزان حجم محلول اسپری، نوع حلال، دمای بازپخت و نیز مدت زمان آن بر خواص ساختاری، اپتیکی و الکتریکی لایه های تهیه شده بررسی شده است. همچنین در این کار نمونه های استنات کادمیم آلایش یافته با فلوئور (Cd2SnO4 : F) به روش فوق رشد داده شدند و اثر این ناخالصی روی خواص ساختاری، اپتیکی و الکتریکی آنها بررسی گردید. برای بررسی خواص ساختاری نمونه ها از اندازه گیری های پراش پرتو X (XRD) و تصاویر ثبت شده با میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) استفاده شد. خواص اپتیکی نمونه ها با کمک اندازه گیری های طیف تراگسیل آنها بررسی شد. همچنین خواص الکتریکی نمونه ها با استفاده از دستگاه مقاومت سنج چهارپایانه ای اندازه گیری شده است. نتایج به دست آمده حاکی از آن است که پارامترهایی مانند دمای لایه نشانی، حجم محلول اسپری، میزان آلایش فلوئور، دمای بازپخت و مدت زمان آن تاثیر قابل ملاحظه ای بر روی خواص ساختاری، اپتیکی و الکتریکی لایه های نازک استنات کادمیم دارد.