چکیده: در این تحقیق تجربی مورفولوژی سطح، خواص ساختاری، اپتیکی، ترمو الکتریکی و الکتریکی و هم‌ چنین خواص فوتورسانش نانو ساختارهای نیمرسانای اکسید مس (CuO) رشد داده شده به روش افشانه تجزیه حرارتی را بر روی زیرلایه شیشه مورد بررسی قرار داده‌ایم. برای مشخصه یابی نمونه‌ها از دستگاه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش پرتو ایکس (XRD)، دستگاه طیف سنج نوری (UV-Vis) و اندازه گیری جریان- ولتاژ استفاده کرده‌ایم. نمونه‌های مورد مطالعه در این تحقیق با استفاده از پیش ماده‌ی استات مس تهیه شدند. در این تحقیق پارامترهای گوناگونی مورد بررسی قرار گرفتند که عبارتند از: اثر تغییر دمای زیرلایه ( 315، 375 و °C440 )، غلظت محلول ( 05/0، 10/0 و M15/0 )، حجم محلول (40، 50 و ml70 ) و نیز تغییر زیرلایه. هم چنین در پایان هر بخش به مطالعه خواص فوتورسانش لایه‌ها تحت تابش نور مرئی پرداخته شده است. تصاویر FESEM حاکی از شکل گیری ذرات و رشته‌هایی در مقیاس نانو و ذراتی گل مانند است. نتایج طیف‌های پراش پرتو ایکس نشانگر شکل گیری نمونه‌ها با ساختار بس بلوری مونوکلینیک در راستای رشد ترجیحی (002) و (111) می‌باشد. بررسی خواص فوتو رسانایی نمونه‌ها نشان دهنده‌ی آن است که مورفولوژی سطح، کیفیت بلوری و ابعاد بلورک‌ها بر حساسیت نوری آن‌ها تاثیر گذار است.