چکیده: ما در این پایان نامه به مطالعه مورفولوژی، خواص ساختاری و اپتیکی نمونههای اکسید تنگستن خالص رشد داده شده به روشهای اسپری پایرولیزیز و تبخیر حرارتی پرداخته ایم. برای این مشخصهیابیها بترتیب از دستگاههای میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش پرتو X (XRD)، طیف سنجی UV-Vis و فوتولومینسانس (PL) استفاده کرده ایم. در نمونههای رشد یافته به روش اسپری پایرولیزیز از محلول تنگستات آمونیم، تهیه شده از پودر اکسید تنگستن خالص (99/9 درصد) استفاده شده است. پارامترهای متغیر در این تحقیق عبارتند از: دمای زیرلایه (300 تا 450 درجه سانتیگراد)، آهنگ اسپری (1، 5 و 18 میلی لیتر بر دقیقه)، دمای بازپخت (450 و 500 درجه سانتیگراد)، نوع زیرلایه (شیشه، سیلسکون و FTO)، مولاریته محلول (01/0، 03/0 و 05/0 مولار)، حجم محلول (10، 30 و 50 میلی لیتر) و اثر اضافه کردن متانول به عنوان حلال. در این نمونهها تصاویر FESEM حاکی از شکل گیری نانوذرات˓ نانو و میکروسیم و رشتههای در هم تنیده نسبتا منظم بر روی سطح زیرلایههاست. همچنین طیفهای XRD نشانگر ساختارهای آمورف و بسبلوری است. طیف عبوری نمونهها نشانگر شفاف بودن لایهها در گستره نور مرئی با گاف نواری غیر مستقیم در حدود 5/3 الکترون ولت می باشد. در نمونههای رشد یافته به روش تبخیر حرارتی بر روی ویفر سیلیکون، نانو ساختارهای WO3 با گرمایش پودر خالص WO3 در حضور گاز اکسیژن بدون استفاده از کاتالیست و یا افزاینده سنتز شدهاند. در این کار تاثیر فاصله زیرلایه تا بوته مورد بررسی قرار گرفت. تصاویر FESEMحاکی از شکل گیری نمونهها به صورت دانهای و میکرومیلهای با قطر نانومتری (nm400~) در فاز بسبلوری با ساختار مونوکلینیک است. طیف PL این نمونهها در دمای اتاق عمدتا در دو ناحیه فرابنفش (ناشی از گذار بین نواری) و آبی (وابسته به نقایص بلوری) متمرکز بوده است.