چکیده: در این تحقیق تجربی به سنتز و بررسی خواص فیزیکی لایه‌های نازک اکسید قلع (SnO_2) خالص و آلایش یافته با فلوئور به روش اسپری پایرولیز بر روی زیرلایه شیشه‌ و سپس اثر بازپخت مورد مطالعه قرار گرفت. به منظور مشخصه یابی فیزیکی نمونه های رشد داده شده از دستگاه‌های مختلف شامل: میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش پرتو ایکس (XRD)، طیف سنجی نوری (UV-Vis-NIR) و آزمایش اثر هال استفاده شد. در مرحله نخست، لایه های اکسید قلع خالص با استفاده از کلرید قلع دوآبه (SnCl_2.2H_2O) در حجم‌های متفاوت (20، 50 و 80ml) از اتانول (مرک) لایه نشانی شدند (بخش 4-2). در مرحله بعد با توجه به بلورینگی و جهت گیری ترجیحی در نمونه های تهیه شده در حجم های 20 و 50ml به بررسی آلایش فلوئور (F) با درصدهای وزنی متفاوت 3، 5 و 10 پرداختیم (بخش های 4-3 و 4-4). لازم به ذکر است که در این تحقیق تاثیر بازپخت بر خواص فیزیکی لایه های اکسید قلع خالص و آلاییده با فلوئور نیز مورد بررسی قرار گرفت. مشخصه یابی نمونه ها نشان داد که تمامی لایه‌ها دارای مورفولوژی دانه ای با ابعاد مختلف بوده و از نظر ساختاری به صورت بس بلوری در فاز چهارگوشی هستند. فرایند آلایش نشان داد در حالی که ابعاد دانه ها تنزل یافته و مقاومت ویژه الکتریکی لایه ها کاهش یافته اند، گاف نواری آنها بخاطر اثر برشتین – موس افزایش پیدا کرده اند. دریافتیم که نمونه ی با بیشترین تراکم آلایش از بالاترین ضریب بهینگی (1/3× 10^-2 اهم^-1) در بین سایر نمونه ها برخوردار است. فرایند بازپخت (دمای 450Cº در حضور هوا به مدت 1h) در نمونه های خالص و آلاییده نشان داد که اندازه دانه ها روند افزایش داشته، و اگرچه گاف نواری نمونه های خالص تغییر ناچیزی داشته اما در نمونه های آلایش یافته گاف نواری لایه ها در مقایسه با لایه های تازه رشد یافته کاهش یافته اند.