چکیده: در این تحقیق به سنتز و بررسی مورفولوژی سطح، خواص ساختاری، الکتریکی و نوری لایه های نازک اکسید مولیبدن (MoO3) تهیه شده به روش اسپری پایرولیز بر روی زیرلایه شیشه پرداختیم. به منظور مشخصه یابی فیزیکی نمونه ها از دستگاه های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش پرتو ایکس (XRD)، طیف سنجی نوری (UV-Vis) و اندازه گیری جریان-ولتاژ (I-V) استفاده شد. در مرحله نخست لایه های اکسید مولیبدن در آهنگ های لایه نشانی مختلف 1.5، 2.5 و ml/min 5 فراهم شدند. معلوم شد که در مقایسه با دیگر نمونه ها، نمونه رشد یافته با آهنگ لایه نشانی ml/min 5 از بلورینگی بهتری برخوردار است. به منظور بهبود این مشخصه به بررسی تاثیر دیگر شرایط رسوب گذاری شامل: اصلاح در روش اسپری (بخش 4-2-1)، غلظت محلول (بخش 4-3) و سرانجام دمای زیرلایه (بخش 4-4) پرداختیم. در این تحقیق دریافتیم تغییر در دمای زیرلایه به شرایط بهینه، از لحاظ بلورینگی، لایه اکسید مولیبدن منجر می شود.