چکیده: در این پایان‌نامه به مطالعه ریخت‌شناسی، ویژگی‌های ساختاری، اپتیکی لایه های نازک تری اکسید مولیبدن (MoO3) سنتز شده به روش‌های اسپری پایرولیزیز و هیدروترمال و همچنین نمونه‌های دی سولفید مولیبدن (MoS2) تهیه شده به روش هیدروترمال پرداخته شد. سپس کاربرد حسگری گازی لایه های نازک MoO3 تهیه شده به روش اسپری پایرولیزیز بررسی گردید. تحلیل الگوی XRD لایه های نازک MoO3 سنتز شده به روش اسپری پایرولیزیز در فشارهای مختلف گاز حامل، رشد در فاز ترمودینامیکی-MoO3 α با ساختار بلوری راست‌گوشه را نشان داد. با افزایش فشار گاز حامل، گاف نواری نمونهها کاهش یافت. در رشد لایه های نازک MoO3 اثر پارامترهای نوع زیرلایه‌، دمای واکنش و pH محلول اولیه مطالعه شد. تمامی نمونه‌های سنتز شده به روش هیدروترمال رشد فاز شبه پایدار h-MoO3 با ساختار بلوری شش گوشی را نشان داد. در بررسی اثر دما بر رشد لایه‌های نازک با افزایش دما تغییر فاز نمونه‌ها از راست‌گوشه به شش‌گوشی مشاهده شد. همچنین، با افزایش دمای واکنش، گاف نواری نمونه ها کاهش یافت. در نمونه‌های تهیه شده با لایه‌های بذری متفاوت گاف نواری کاهش و در نمونه‌های تهیه شده با pH متفاوت افزایش یافت. تصاویر FESEM نمونه‌ها تشکیل میکرو‌میله‌های شش‌گوشی را نشان داد. در نمونه‌های MoS2 تهیه شده به روش هیدروترمال تاثیر زمان واکنش مورد بررسی قرار گرفت. آنالیز XRD تشکیل ساختار بلوری شش گوشی MoS2 را نشان داد. نتایج SEM نشان داد نانوگل‌های MoS2 متشکل از نانوصفحات بسیار نازک با ضخامتی در حدود nm 40-20 هستند. در پایان ویژگی‌های حسگری نمونه‌های تهیه شده به روش اسپری پایرولیزیز نسبت به گاز اتانول در دماهای مختلف بررسی شد. نتایج نشان داد دمای کار بهینه برای تمامی نمونه‌ها ºC 200 و بیشینه پاسخ حسگر در دمای ºC 200 متعلق به نمونه تهیه شده در فشار گاز حامل bar 1.8 است.