چکیده: در این پایان نامه به مطالعه ریخت شناسی، ویژگی های ساختاری و بررسی حسگری گازی نمونه های اکسید مولیبدن لایه نشانی شده بر روی زیرلایه های شیشه و سیلیکن با روش های هیدرترمال (گرمابی)، بلید و تبخیر حرارتی پرداخته شده است. برای مشخصه یابی نمونه ها از دستگاه های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی(FESEM) پراش پرتو ایکس (XRD) و آنالیز رامان استفاده شد. در نمونه لایه نشانی شده به روش گرمابی بر روی شیشه نتایج آنالیز پراش پرتو ایکس، تشکیل فاز α را برای نمونه سنتز شده نشان داد. پس از تصویر برداری FESEM نتایج، حاکی از تشکیل میکروکره های در هم-تنیده به شکل گُل بود. پس از انجام تست های حسگری گازی این نمونه، برای گاز اتانول دمای بهینه حسگری در حدود 260 ˚C تخمین زده شد. کم ترین و بیشترین حساسیت محاسبه شده از این نمونه نیز به ترتیب 21/3 و 75 درصد (برای ppm1000 -100 ) است. در نمونه لایه نشانی شده به روش بلید بر روی شیشه نتایج آنالیز پراش پرتو ایکس، تشکیل تک فاز α را برای نمونه سنتز شده نشان داد که پس از تصویر برداری FESEM نتایج، حاکی از تشکیل نانوصفحاتی بود که به صورت لایه ای بر روی هم قرار گرفته اند، که تاییدی بر آنالیز XRD نیز بود. پس از انجام تست های حسگری گازی این نمونه، برای گاز اتانول دمای بهینه حسگری در حدود 260 ˚C تخمین زده شد. کم ترین و بیشترین حساسیت محاسبه شده از این نمونه نیز به ترتیب 24 و 82 درصد (برای ppm1000 -100 ) است. در انتها جهت بررسی نمودار های جریان بر حسب ولتاژ، لایه نشانی اکسید مولیبدن بر روی سیلیکن، با دو روش بلید و تبخیر حرارتی انجام شد و درنهایت هم حسگری نمونه های سیلیکنی نسبت به گاز هیدروژن بررسی شد که بیشترین حساسیت گزارش شده برای ppm 2500 در حدود 85/2 درصد، گزارش شد.