چکیده: در این پایان‌نامه ویژگی‌های ریخت‌شناسی سطحی، ساختاری و اپتیکی نمونه‌های اکسید مولیبدن (MoO3) بدون آلایش و با آلایش Zn (در درصد های مختلف اتمی 0، 1، 5، 10 و 20%) تهیه ‌شده به روش‌های افشانه پایرولیزیز و هیدروترمال مطالعه شد. برای مشخصه‌یابی نمونه‌ها دستگاه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش پرتو ایکس (XRD)، طیف‌نگاری فلورسانس پرتو ایکس (XRF) و طیف‌سنجی نوری UV-Vis مورد استفاده قرار گرفت. درنمونه‌های تهیه شده به روش افشانه پایرولیزیز، تحلیل الگوی XRD نمونه‌‌ی بدون آلایش فاز پایدار ترمودینامیکی α-MoO3 با ساختار بلوری راست‌گوشه را نشان می‌دهد. قله‌هایی قوی در راستاهای )0k0( (6 و4، 2k=) در الگوهای پراش دیده ‌شد که نشان‌دهنده ساختار لایه‌ای اکسید مولیبدن در لایه های نازک تهیه شده است. تصاویر FESEM نمونه‌ها وجود میکروکره‌هایی را نشان می‌دهد، که پوسته آن‌ها لایه لایه است. با افزایش آلایش، تغییر در ساختار بلوری نمونه‌ها از راست گوشه به تک میلی مشاهده شد، با این وجود مخلوطی فازهای مختلف حضور دارند. همچنین با استفاده از طیف عبوری و بازتاب لایه‌ها، درصد عبور نور، ضریب جذب و گاف نواری نمونه‌ها به دست آمد و تحلیل شد. از لایه‌ های نازک بدون آلایش که قبلاً به روش افشانه پایرولیزیز رشد یافته بودند در روش هیدروترمال به‌عنوان لایه بذری استفاده برای رشد لایه های نازک نانوساختار بدون آلایش و آلایش یافته با Zn (در درصد های مختلف اتمی 2، 5، و 10%) استفاده گردید. در این مورد الگوی پراش پرتو X نمونه‌ها فاز شبه‌پایدار ترمودینامیکی h-MoO3 با ساختار بلوری شش‌گوشی و تصاویر FESEM نمونه‌ها رشد ترجیحی میکرو و نانومیله‌های منظم شش گوش بر روی لایه بذری اسپری شده را نشان داد. با افزایش میزان ناخالصی قطر میله ها افزایش و طول آن ها کاهش یافت. همچنین خواص نوری نمونه ها بررسی گردید. در پایان خواص حسگری نمونه‌های تهیه شده به روش افشانه پایرولیزیز (با درصدهای مختلف غلظت آلایش) نسبت به غلظت های متفاوت بخار اتانول بررسی شد. اندازه گیری ها در بازه دمایی 200 تا C 300 انجام پذیرفت. بیشترین حساسیت متعلق به نمونه آلایش یافته با 5 درصد اتمی Zn نسبت به ppm100 گاز اتانول در دمای C 250، %23 می‌باشد.