چکیده: در این پایان‌نامه به مطالعه ریخت‌شناسی سطح، خواص ساختاری و اپتیکی نمونه‌های اکسید تنگستن (WO3) بدون آلایش و با آلایش اکسید مولیبدن پرداخته می‌شود. جهت رشد لایه‌های نازک از روش‌های اسپری پایرولیزیز و هیدروترمال استفاده گردید. برای مشخصه یابی نمونه‌ها از دستگاه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FE-SEM)، پراش پرتو ایکس(XRD) و طیف سنجی UV-Vis استفاده شد. پارامترهای مورد مطالعه در روش اسپری پایرولیزیز عبارتند از: دمای زیرلایه (300، 350، 400، 450 و ℃500)، غلظت محلول اولیه (01/0، 02/0، 04/0، 08/0، 1/0 وM 2/0)، حجم محلول (50، 100، 150 و mL200)، پالسی انجام دادن اسپری با غلظت‌های 01/0، 1/0، M2/0 و افزودن آلایش اکسید مولیبدن به نمونه‌ها با درصدهای مولی متفاوت (1%، 10%، 20%، 40% و 50%). تصاویرFE-SEM نمونه‌ها رشد میکرو الیاف ریشه مانند با توزیع یکنواخت را در سراسر نمونه نشان می‌دهد که با افزایش آلایش به صورت نانو صفحات شکل می‌گیرند. الگوی پراش پرتو ایکس بدست آمده برای نمونه‌های بدون آلایش و همچنین در مقادیر کم آلایش حاکی از طبیعت آمورف نمونه‌هاست که با افزایش تراکم آلایش و غلظت محلول اولیه با ساختار بس‌بلوری رشد می‌کنند. طیف عبوری و بازتاب لایه‌ها نشان‌گر شفافیت قابل توجه نمونه‌ها در ناحیه مرئی است و گاف نواری مستقیم نمونه‌ها در حدود eV 3/3 محاسبه شد. در نمونه‌های رشد داده‌شده به روش هیدروترمال از زیرلایه شیشه و لایه‌های بذری رشد داده‌شده به روش اسپری پایرولیزیز استفاده شد. در این بخش تاثیر زیرلایه‌های مختلف، تاثیر ماده پایدار‌کننده و همچنین مدت زمان فرآیند هیدروترمال بررسی شد. نتایج نشان دهنده‌ی ساختار تک میلی و شش گوشه‌ی نمونه‌ها بود. همچنین تصاویر FESEM نمونه‌ها نشان دهنده‌ی رشد نانو ورقه‌ها و نانو صفحات می‌باشد.