چکیده: در این پایان‌نامه به مطالعه ریخت‌شناسی سطح، خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک اکسید تنگستن (WO3) بدون آلایش و آلاییده با قلع (Sn) پرداخته شده است. جهت رشد لایه های نازک از دو روش اسپری پایرولیزیز و هیدروترمال استفاده گردید. خواص ساختاری، اپتیکی و ریخت شناسی با استفاده از اندازه گیری های طیف سنجی UV-Vis، آنالیز الگوی پراش پرتو ایکس (XRD) و میکروسکوپ الکترونی روبشی اثرمیدانی (FE-SEM) مورد بررسی قرار گرفت. در روش اسپری پایرولیزیز اثر افزودن آلایش قلع به نمونه ها با درصدهای اتمی متفاوت (0، 1، 2، 5 و 10%) مطالعه گردید. تصاویر FESEM نمونه ها ساختار سطح نمونه ها را به صورت حلقه های دایروی تو در تو با تعداد زیادی نانوذره ی تشکیل شده بر روی سطح لایه های نازک ها نشان می دهد که با افزایش آلایش تعداد، اندازه و شکل این نانوذرات تغییر می کند. تحلیل الگوی پراش پرتو ایکس برای نمونه بدون آلایش قله های ساختارهای بلوری شش گوشی WO3 و چهارگوشی W5O14 را نشان می دهد به طوری که با افزایش تراکم آلایش به میزان 2% اتمی تغییر در فاز بلوری از شش گوشی به فاز راست گوشی مشاهده گردید. در نمونه های رشد داده شده به روش هیدروترمال نیز تاثیر آلایش قلع با درصدهای اتمی 0،1، 2 ، 5 و 10% بررسی شد. آنالیز الگوی XRD ساختارهای بلوری شش گوشی و راست گوشی WO3 و راست گوشی WO3.H2O برای نمونه بدون آلایش، و ساختارهای بلوری شش گوشی و راست گوشی WO3و چهار گوشی H0.23 WO3 برای نمونه های آلاییده نشان می دهد. تصاویر FESEM نشان دهنده ی رشد نانو ورقه های در هم فرو رفته برای نمونه بدون آلایش و همچنین رشد کره هایی بر سطح نمونه های آلاییده می باشد. با استفاده از طیف عبوری و بازتاب لایه ها درصد عبور نور (در طول موج nm 550) و گاف نواری مستقیم نمونه ها به دست آمد. در این پایان نامه خواص حسگری نمونه های تهیه شده به روش اسپری پایرولیزیز نسبت به گاز اتانول اندازه گیری شد. اندازه گیری ها در دو دمای C°200 و C°250 انجام شد. بیشترین حساسیت متعلق به نمونه آلایش یافته با 10% اتمی Sn نسبت به گاز اتانول در دمای C°250 مقدار 98% می باشد.