چکیده: در این پایان نامه لایه های نازک اکسید مس آلومینیوم (CuAlO2) با ضخامت متوسط nm150به روش سل ـ ژل چرخشی و غوطه وری آماده شدند. به منظور بدست آوردن شرایط بهینه سنتز این نمونه ها، اثر پارامتر هایی نظیرنوع زیرلایه، دمای خشک سازی و دمای بازپخت، اتمسفر محیط بازپخت و نسبت مولی آلومینیوم به مس روی خواص ساختاری و اپتیکی نمونه ها بررسی شد. نتایج این مطالعه نشان داد که برای تبلور ساختار بلوری CuAlO2، انجام عملیات بازپخت در دماهایی در حدود oC1100-750 ضروری است. همچنین محیط بازپخت (خلا یا گاز بی اثر) می تواند خواص ساختاری و اپتیکی لایه ها را تحت تاثیر قرار دهد. مقایسه نتایج بدست آمده نشان دادند که عملیات بازپخت در محیط آرگون منجر به تولید نمونه هایی با کیفیت اپتیکی و ساختاری نسبتاً بهتری می شوند. همچنین این مطالعه نشان داد که انتخاب دمای خشک سازی مناسب نیزمی تواند روی خواص ساختاری و اپتیکی نمونه ها تاثیر مستقیم داشته باشد. نتایج این بررسی نشان داد که دمای خشک سازی مناسب برای لایه های نازک CuAlO2 به روش سل ـ ژل چرخشی روی زیرلایه کوارتز دمایoC 400 می باشد. اثر ضخامت لایه نیز روی خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک اکسید مس آلومینیوم بررسی شد. این بررسی نشان داد که لایه با ضخامت nm140 از کیفیت ساختاری و اپتیکی بهتری در مقایسه با لایه با ضخامت nm180 برخوردار هستند. در این کار اثر نسبت مولی Al/Cu نیز روی خواص ساختاری و اپتیکی نمونه ها بررسی شد. به این منظور کیفیت اپتیکی و ساختاری نمونه های تهیه شده با نسبت های مولی 8/0، 1و 2/1 بررسی شد. نتایج این بررسی نشان داد که کیفیت ساختاری و اپتیکی نمونه دارای نسبت مولی 8/0 بهتر از سایر نمونه ها است.