چکیده: دراین پایان نامه ابتدا لایه های نازک SnO2 خالص و آلائیده با Mn با روش اسپری پایرولیزز تهیه شدند. سپس خواص ساختاری، طیف رامان، خواص اپتیکی، خواص الکتریکی و همچنین مورفولوژی سطح لایه ها مورد بررسی قرار گرفت. بررسی طیف های پراش اشعه X نمونه ها نشان داد لایه ها بس بلوری بوده و دارای فاز چهار گوشی روتایل هستند. تحلیل داده های XRD نشان داد که اندازه متوسط بلورک ها در نمونه بدون آلایش بزرگتر بوده و با افزایش ناخالصی منگنز اندازه متوسط بلورک ها کاهش یافت. مورفولوژی سطح لایه ها نشان داد که لایه ها از دانه های بهم چسبیده، کروی و نسبتا یکنواختی تشکیل شده اند و تصویر سطح مقطع لایه ها نشان داد که ضخامت لایه ها حدود 400 نانومتر می باشد. بررسی خواص اپتیکی نمونه ها نشان داد که لایه های آلائیده همچنان از شفافیت خوبی در ناحیه طول موجی nm1100-300 برخوردار می باشند. گاف نواری نمونه بدون آلایش حدودeV3.79 بدست آمد. با آلایش منگنز تا میزان 8% اتمی مقدار آن بهeV3.60 کاهش یافت. همچنین کیفیت بلوری لایه های آلائیده در مقایسه با لایه خالصSnO2 کمی کاهش نشان داد. مطالعه خواص الکتریکی نمونه ها نشان داد که با افزایش آلایش، مقاومت الکتریکی لایه ها افزایش و تحرک و رسانندگی کاهش می یابد.