چکیده: در این تحقیق به بررسی مورفولوژی سطح، خواص ساختاری، الکتریکی و اپتیکی نانوساختارهای اکسید وانادیوم رشد یافته بر روی زیرلایه شیشه به روش اسپری پایرولیز پرداخته شده است. برای تهیه لایه های نازک پنتاکسید وانادیوم (V2O5) از ترکیب شیمیایی تری کلرید وانادیوم (VCl3) استفاده کردیم. پارامترهای متغیر در این تحقیق عبارتند از: دمای زیرلایه (بخش4-2)، تاثیر بازپخت (بخش 4-3) و تاثیر آلایش روی (بخش 4-4). به منظور مشخصه یابی نمونه های سنتز شده از دستگاههای مختلف استفاده شده است که عبارتند از: میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش پرتو ایکس (XRD)، طیف سنجی رامان، اثر هال و طیف سنجی مرئی- فرابنفش (UV-Vis). در بررسی تاثیر دمای زیرلایه، در گستره 350 الی C° 450، مشخص شد که با افزایش دمای رشد، سطح نمونه ها پوشیده از نانومیله ها شده اند. نتایج (XRD) حاکی از آن است که در بیشتر موارد لایه های سنتز شده دارای ساختار اورتورمبیک در فاز V2O5 بوده و در برخی موارد با فاز بلوری V4O9 همراه است. همچنین قله های مشخصه در طیف های رامان موید تشکیل فاز V2O5 در این نمونه ها می باشد. خواص اپتیکی و الکتریکی نشان داد که با افزایش دمای زیرلایه گاف نواری لایه ها روندی کاهشی و رسانندگی الکتریکی نمونه ها روندی افزایشی داشته اند. در مطالعه تاثیر فرآیند بازپخت، دمای بازپخت (400 و C° 450) و مدت زمان (2 و 3 ساعت) مورد بررسی قرار گرفت. معلوم شد عملیات بازپخت نه تنها منجر به نانومیله هایی بیشتر در سطح نمونه ها شده بلکه همچنین سبب بهبود بلورینگی لایه ها نیز شده است. خواص الکتریکی نمونه ها نشان داد که بازپخت در دمای C° 450 در مدت h2 منجر به افزایش مقاومت الکتریکی لایه گردیده است. در بررسی تاثیر آلایش نمونه توسط اتم های روی (Zn) مشخص شد که در طی این فرایند قطر نانومیله ها رو به افزایش گذارده اند. خواص الکتریکی و اپتیکی نمونه های سنتز شده نشان داد که با افزودن ناخالصی، به علت نقش اتم های روی به عنوان پذیرنده ها در شبکه بلوری اکسید وانادیوم، مقاومت الکتریکی لایه ها افزایش و گاف نواری آنها کاهش یافته است.