چکیده: در این تحقیق، لایه های نازک نانوساختار اکسید روی (ZnO) به روش اسپری پایرولیز تهیه شده است. برای تهیه محلول از استات روی دو آبه (C4H10O6Zn + 2H2O) به عنوان ماده اصلی و آب مقطر به عنوان حلال استفاده شده است. آنگاه محلول تهیه شده بر روی زیرلایه های شیشه اسپری شدند. در اینجا به بررسی آثار حجم محلول، افزودن نیتروژن به عنوان ناخالصی و سرانجام تاثیر بازپخت بر روی خواص ساختاری و اپتیکی و الکتریکی این نمونه ها پرداخته ایم. به منظور مشخصه یابی نمونه‌های سنتز شده از دستگاه‌های مختلف استفاده کرده ایم که عبارتند از: میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش پرتو ایکس (XRD)، مشخصه یابی جریان-ولتاژ (I-V)، اثر هال، اثر سیبک و طیف سنجی مرئی- فرابنفش (UV-Vis). در مرحله نخست (بخش 4-2)، نانو-ساختارهای اکسید روی (ZnO) با حجم های متفاوت 25، 50 و 75ml بر روی زیرلایه های شیشه ای لایه نشانی شدند. از مشخصه یابی نمونه ها معلوم شد که همه ی نمونه ها دارای رسانندگی الکتریکی نوع n بوده، و نمونه ی تهیه شده در حجم 50ml از بیشترین مقاومت الکتریکی و در نتیجه کمترین تراکم تهی جاهای اکسیژن در شبکه بلوری برخوردار است. با در نظر گرفتن این واقعیت ما در ادامه در بخش 4-3 از شرایط لایه نشانی این نمونه برای بررسی تاثیر نیتروژن به عنوان ناخالصی با استفاده از آمونیوم استات (CH3COONH4) به ازای نسبت های اتمی روی به نیتروژن 1 به 3 استفاده کردیم. تحلیل داده ها نشان داد که رسانندگی الکتریکی در این نمونه به نوع p تغییر یافته است. در مرحله نهایی (بخش 4-4)، عملیات بازپخت بر روی نمونه های بدون آلایش و آلایش شده با نیتروژن در دمای ℃ 500 در حضور گاز نیتروژن (شار 20sccm) به مدت 1h ساعت پرداختیم. معلوم شد که بر اثر بازپخت در نمونه ی آلایش شده، بلورینگی لایه بهبود یافته، همچنین تحرک پذیری و تراکم حامل های حفره ای در آن افزایش پیدا کرده است.