چکیده: در‎ ‎این‎ ‎تحقیق، لایه های نازک نانو-ساختار تیتانیوم دی اکسید ‏‎(TiO2)‎‏ به روش اسپری پایرولیز تهیه شده است. در ‏تهیه محلول اسپری از تیتانیوم تترا ایزو پروپکساید (‏TTIP‏) به عنوان پیش ماده و اتانول خالص به عنوان حلال استفاده شده ‏است. آنگاه محلول تهیه شده بر روی زیرلایه های شیشه اسپری شدند. در اینجا به بررسی آثار غلظت محلول، دمای زیرلایه و ‏بازپخت بر روی خواص ساختاری و اپتیکی و الکتریکی این نمونه ها پرداخته ایم.‏ به منظور مشخصه یابی نمونه های سنتز شده از دستگاه های مختلف استفاده کرده ایم که عبارتند از: میکروسکوپ ‏الکترونی روبشی گسیل میدانی (‏FESEM‏)، پراش پرتو ایکس (‏XRD‏)، طیف نگاری رامان و طیف سنجی مرئی- فرابنفش ‏‏(‏UV-Vis‏).‏ در مرحله نخست (بخش 4-2) نانو-ساختارهای دی اکسید تیتانیوم (‏TiO2‎‏) با نسبت های مختلف حجمی ‏TTIP‏ ‏به اتانول به صورت 1:1، 2:1 و 1:3 در حجم ‏ml‏ 15 بر روی زیرلایه های شیشه ای در دمای ‏C‏◦385 لایه نشانی شدند. از ‏مشخصه یابی نمونه ها معلوم شد که تنها نمونه ی سنتز شده با غلظت محلولی بیشتر دارای فاز بلوری آناتاز با جهتگیری ‏ترجیحی (101) بوده و دیگر نمونه ها به صورت آمورف هستند. با در نظر گرفتن این واقعیت ما در ادامه در بخش 4-3 از ‏شرایط لایه نشانی این نمونه برای بررسی تاثیر دمای زیرلایه (385، 425 و ‏‎ºC‎‏ 475) استفاده کردیم. تحلیل داده ها نشان ‏داد که با افزایش دما، سطح لایه ها از تخلخل کمتری برخوردار بوده و ضخامت آنها کاهش یافته است. علاوه بر این، آنالیز ‏ساختاری نشان داد که لایه ها به صورت آمورف در آمده اند. در مرحله نهایی (بخش 4-4) به بررسی عملیات بازپخت در ‏خلاء و نیز شار گاز نیتروژن (‏sccm‏ 20) در دمای ‏‎ºC‎‏ 550 به مدت ‏h‏ 2 ساعت پرداختیم. به طور کلی معلوم شد که ‏بازپخت در خلاء سبب بهبود ساختار بلوری لایه ها گردیده و در حضور گاز نیتروژن تاثیر قابل توجهی بر مورفولوژی سطح ‏لایه ها داشته است.