چکیده: در این تحقیق به بررسی مورفولوژی سطح، خواص ساختاری، اپتیکی، الکتریکی و ترموالکتریکی نمونه‌های اکسید وانادیوم تهیه شده به روش اسپری پایرولیز پرداخته‌ایم. به منظور مشخصه‌یابی نمونه‌ها از دستگاه‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، طیف سنجی پاشندگی انرژی پرتو ایکس (EDX)، پراش پرتو ایکس (XRD)، طیف سنجی رامان (Raman)، طیف سنجی اپتیکی فرابنفش-مرئی (UV-Vis)، مشخصه جریان-ولتاژ (I-V) و دستگاه اثر سیبک استفاده کرده‌ایم. نمونه‌ها به روش اسپری پایرولیز بر روی زیرلایه شیشه لایه نشانی شدند. در این تحقیق برای تهیه محلول اسپری از ترکیب ‌تری کلرید وانادیوم (VCl3) با خلوص99.9 % استفاده شده است. پارامترهای متغیر در این تحقیق عبارتند از: غلظت محلول (بخش 4-2)، آهنگ اسپری (بخش 4-3)، ارتفاع افشانه تا زیرلایه (بخش4-4)، بازپخت نمونه‌ها در آتمسفرهای مختلف (بخش 4-5) و دمای زیرلایه (بخش 4-6). تصاویر FESEM نمونه‌های سنتز شده نشانگر شکل‌گیری نانو دانه هایی با ابعاد کمتر از nm 100 می‌باشد. بر طبق نتایج طیف EDX کلیه نمونه های سنتز شده از کمبود اتم های اکسیژن در شبکه بلوری خود برخوردارند. نتایج الگو پراش پرتو X لایه‌ها حاکی از آن است که در بیشتر موارد لایه های سنتز شده دارای ساختار اورتورومبیک در فاز V2O5 با جهت گیری ترجیحی (001) بوده و در برخی موارد با فاز بلوری اضافی V3O7 همراه است. قله‌های طیف رامان نمونه‌ها نیز موید تشکیل فاز V2O5 می‌باشد. مشخصه جریان - ولتاژ نمونه های تهیه شده نشان داد که مقاومت سطحی نمونه‌ها نسبتا بالا و در حدود kΩ100 است. سرانجام آزمایش اثر سیبک تایید کرد که کلیه نمونه‌های سنتز شده دارای رسانندگی نوع n هستند.