چکیده: در این پژوهش به بررسی مورفولوژی سطح، خواص ساختاری، الکتریکی و اپتیکی لایه های نازک اکسید روی (ZnO) نانوساختار با تغییر پارامترهای مختلف انباشت به روش سل- ژل چرخشی به منظور دستیابی به لایه هایی با شفافیت و رسانندگی بالا بر روی زیرلایه ی شیشه پرداختیم. مشخصه یابی نمونه های سنتز شده با استفاده از دستگاه های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش پرتو ایکس (XRD)، اثر هال، طیف سنجی های فرابنفش- مرئی (UV-Vis) و فوتولومینسانس (PL) انجام شد. در سنتز لایه های نازک اکسید روی از محلول استات روی دوآبه (Zn(CH3COO)2•2H2O) و حلال های مختلف "اتانول" و "2- متوکسی اتانول" استفاده شد. ابتدا با استفاده از حلال اتانول، تاثیر ضخامت در نمونه های خالص و نیز آلایش Al (درصدهای وزنی2، 4، 6 و 8 نسبت به استات روی) مورد بررسی قرار گرفتند. در ادامه با استفاده از حلال 2- متوکسی اتانول دریافتیم از نظر ساختاری، دمای بازپخت مناسب ℃500 می باشد. بر این مبنا با استفاده از حلال 2- متوکسی اتانول به مطالعه ی تاثیر ضخامت در نمونه های خالص، و نیز آلایش Al (درصدهای وزنی 2، 4 و 6 نسبت به استات روی) پرداختیم. سرانجام، تاثیرات آلایش نیتروژن (N) با استفاده از دو ترکیب شیمیایی مختلف (محلول دی متیل فرمامید و استات آمونیوم) مورد بررسی قرار گرفتند. طیف های XRD تاییدی بر تشکیل فاز ششگوشی ZnO در تمامی نمونه های سنتز شده بودند. داده های اپتیکی نشانگر تاثیر ضخامت و میزان ناخالصی بر میزان شفافیت لایه ها در محدوده نور مرئی و فروسرخ بوده و تحلیل داده های اپتیکی بیانگر تغییرات گاف نواری در محدوده 21/3 تا eV 29/3 ناشی از دنباله نواری وابسته به نواقص بلوری و یا پدیده محدودیت کوانتومی است. نتایج حاصل از خواص الکتریکی لایه ها در دمای اتاق نشان داد نمونه های خالص همگی دارای مقاومت سطحی بسیار بالا بوده، اما در نمونه های آلاییده با Al این کمیت کاهش یافته به طوری که در نمونه های سنتز شده با حلال اتانول در محدوده ی 1 - /sq.ΩM 4، نمونه های سنتز شده با حلال 2 –متوکسی اتانول در محدوده 2/0 - /sq.ΩM 7/0 و نمونه های آلایشی با N در محدوده 200 - /sq.ΩM 700 هستند. همچنین طیف های PL نمونه ها نشان داد که قله گسیلی در ناحیه فرابنفش (کوچکتر از nm 400) ناشی از بازترکیب نوار به نوار و قله های واقع در ناحیه ی مرئی ناشی از بازترکیبهای وابسته به ترازهای نواقص بلوری در گاف نواری نمونه هاست.