چکیده: در این تحقیق به مطالعه مورفولوژی سطح، خواص ساختاری، اپتیکی، الکتریکی و همچنین بررسی اثر فوتورسانایی نور فرابنفش در نانو ساختارهای اکسید روی (ZnO) رشد یافته به روش اکسایش حرارتی بر روی (الف) ورقه Zn و (ب) لایه نشانی فلز روی بر روی زیرلایه شیشه پرداخته ایم. برای مشخصه یابی فیزیکی نمونه ها از دستگاه های میکرسکوپ الکترونی اثر میدان (FESEM) ، پراش پرتو ایکس (XRD) ، دستگاه طیف سنج نوری (UV-Vis) و اندازه گیری جریان –ولتاژ پرداخته ایم. در مرحله نخست، لایه های اکسید روی با استفاده از ورقه های Zn در دماهای 550، 600 و C ◦ 650 به مدت 1 ساعت در حضور هوا بازپخت شدند (بخش4-2). در مرحله دوم، بر روی زیرلایه شیشه لایه نازکی از روی به روش های رسوب گذاری بخار فیزیکی (PVD) و کند وپاش لایه نشانی و سپس در حضور هوا بازپخت شدند، بترتیب بخش های (4-3) و (4-4). نمونه ها در دو بخش اخیر در ساختار فلز-نیمرسانا-فلز (MSM) جهت بررسی اثر فوتورسانش تحت تابش دیود نورگسیل (LED) فرابنفش قرار گرفتند. به طور کلی تصاویر FESEM نمونه های سنتز شده حاکی از شکل گیری نانوسیم ها اکسید روی بر روی ورقهZn و همچنین نمونه های سنتز شده به روش PVD، و تشکیل نانو دانه ها بر روی نمونه های سنتز شده به روش کندوپاش می باشد. نتایج پرتو ایکس نشان داد که تمامی نمونه ها داری ساختار بسبلوری ششگوشی (ورتزایت) هستند. از بررسی اثر فوتورسانایی لایه ها دریافتیم که نواقص بلوری، به ویژه تهی جاهای اکسیژن، تا حد زیادی بر حساسیت نوری نمونه ها تاثیر گذارند.