چکیده: در این پایان‌نامه رفتارهای ارتعاشاتی و‌‌ حساسیت تیر میکروسکوپ نیرو اتمی که از ماده هایپرالاستیک ساخته شده مورد بررسی و تحلیل قرار گرفته است. مواد هایپرالاستیک ذاتاً رفتار غیرخطی دارند و در این جا بررسی پارامترها و عوامل مختلف، نظیر ابعاد هندسی میکروتیر و نوک، جنس ماده میکروتیر بر رفتار ارتعاشاتی میکروتیر میکروسکوپ، حساسیت میکروتیر AFM و تحقیق در مورد تأثیر ماده هایپرالاستیک بر روی فرکانس و حساسیت AFM مورد نظر است. به علت دامنه پایین نوسان در مد تماسی، نیروهای برهم‌کنش بین نوک و سطح نمونه به‌صورت خطی فرض شده‌اند. برای به دست آوردن معادلات حاکم از روش همیلتون استفاده می‌شود، و برای انرژی کرنشی ماده هایپرالاستیک از مدل یئو استفاده شده است. ارتعاش آزاد میکروتیر با استفاده از مدل اویلر برنولی با شرایط مرزی یکسر گیردار با جرم و فنر در انتها و با در نظر گرفتن مدل‌های هایپرالاستیک یئو بررسی می‌گردد. اثر پارامترهای مختلف همچون شماره مد، طول، ضخامت، جرم مؤثر، طول مخروط انتها تیر و نسبت لاغری، بر فرکانس بی‌بعد مورد مطالعه قرار می‌گیرد. در حل معادلات غیرخطی حاکم از روش‌های نیمه تحلیلی و تقریبی پوانکاره و گلرکین استفاده می‌شود. مقادیر فرکانس و حساسیت برای میکروتیر AFM از جنس هایپرالاستیک افزایش زیادی نسبت به حالت معمول آن داشته است. پارامتر سختی عمودی تاثیر بسیار زیادی روی فرکانس و حساسیت AFM دارد، به طوری در مقادیر خیلی زیاد سختی عمودی تغییرات پارامترهندسی دیگر به چشم نمی آید. تا کنون هیچ‌ تحلیل و بررسی در مورد کاربرد این مواد در میکروتیر میکروسکپ انجام نشده و نتایج به‌دست‌آمده به‌عنوان اولین نتایج در این زمینه است.