چکیده: حسگرهای گازی مبتنی بر اکسیدهای فلزی نیمه‌رسانا به دلیل ساختار ساده، هزینه مناسب، حساسیت مطلوب و قابلیت کوچک‌سازی، در پایش محیط‌زیست، ایمنی صنعتی، کنترل کیفیت مواد غذایی و تشخیص نشانگرهای زیستی کاربرد دارند. بااین‌حال، دمای کار بالا، انتخاب‌پذیری محدود، حساسیت متقاطع، اثرپذیری از رطوبت و ناپایداری پاسخ، عملکرد عملی آن‌ها را محدود می‌کند. در این پژوهش، تأثیر اصلاح سطح و استفاده از فلزات نجیب و نانوذرات کاتالیستی بر حساسیت، انتخاب‌پذیری و عملکرد حسگرهای گازی بررسی شد. همچنین، ویژگی‌های نانوذرات طلا، پلاتین، پالادیم، نقره و ساختارهای دوفلزی و نقش آن‌ها در بهبود فرایند حسگری مورد مطالعه قرار گرفت. نتایج نشان داد که فلزات نجیب از طریق حساس‌سازی الکترونیکی، تشکیل سد شاتکی، فعال‌سازی اکسیژن سطحی، کاهش انرژی فعال‌سازی و پدیده سرریز، پاسخ حسگر را تقویت می‌کنند. نوع فلز، اندازه و شکل نانوذرات، مقدار بارگذاری، حالت اکسایش، نحوه پراکندگی و ماهیت پایه اکسیدی از عوامل اصلی تعیین‌کننده عملکرد هستند. سامانه‌های دوفلزی نیز در صورت کنترل مناسب ترکیب می‌توانند به دلیل اثر هم‌افزایی، پاسخ و انتخاب‌پذیری بیشتری ایجاد کنند. بااین‌حال، پاسخ زیاد همواره با بازیابی سریع، پایداری بلندمدت و انتخاب‌پذیری مطلوب همراه نیست و شرایط کاری مانند دما، رطوبت، غلظت گاز و شدت نور نیز باید در طراحی حسگر در نظر گرفته شوند. تثبیت نانوذرات، کاهش مصرف فلزات نجیب و استفاده از آرایه‌های حسگری هوشمند، از مسیرهای مهم توسعه حسگرهای کم‌مصرف، پایدار و انتخاب‌پذیر محسوب می‌شوند.