چکیده: در این پایان نامه لایه های نازک SnO2 خالص و آلایش یافته با درصد های اتمی مختلف ایندیوم (0%، 2.5%، 5%، 10% و 15%) بر روی زیر لایه شیشه به روش سل-ژل غوطه وری سنتز شدند و تاثیر زمان بازپخت، دمای بازپخت و آلایش ایندیوم روی خواص ساختاری و اپتیکی نمونه ها مورد بررسی قرار گرفت. برای مشخصه یابی ساختاری نمونه ها از اندازه گیری طیف پراش اشعه ایکس (XRD) و طیف رامان، برای بررسی مورفولوژی سطح نمونه ها از دستگاه FESEM، ترکیب عناصر نمونه ها از دستگاه EDAX و خواص اپتیکی نمونه ها از دستگاه UV-Vis در محدوده طول موجی nm 1100-300 استفاده شد. آنالیز طیف های XRD نمونه های خالص نشان داد که افزایش زمان بازپخت از 1 تا 3 ساعت کیفیت بلوری نمونه ها را بهبود می دهد و در زمان بازپخت 3 ساعت ساختار چهار گوش روتایل SnO2تشکیل می گردد. مقادیر گاف نواری نمونه ها با افزایش زمان بازپخت اندکی کاهش پیدا می کند. طیف های XRD نمونه های با دمای بازپخت 400 ، 450 و 500 درجه سانتیگراد نشان داد که با افزایش دمای بازپخت فاز خالص SnO2 تشکیل می گردد. تصاویر FESEM نمونه ها نشان داد که یکنواختی سطح لایه بازپخت شده در دمای 450 درجه سانتیگراد از سایر نمونه ها بهتر است. متوسط میزان عبور برای تمام نمونه ها بیش از 85% بود و مقادیر گاف نواری نمونه ها با افزایش دمای بازپخت اندکی افزایش می یابد. طیف های XRD نمونه های آلایش یافته با ایندیوم در بررسی اثر آلایش ایندیوم بر لایه های نازک SnO2تشکیل ساختار چهار گوش روتایل SnO2 را نشان داد. نتایج مطالعه اپتیکی نمونه ها نشان داد که میزان عبور با آلایش کاهش یافته و مقادیر گاف نواری نمونه ها نیز با افزایش ناخالصی ایندیوم کاهش می یابد.