چکیده: در این پایان نامه مورفولوژی ٬خواص ساختاری و حسگری نانوساختارهای دی اکسید تیتانیم(TiO2) تهیه شده با روش های مختلف مانند آندیزاسیون شیمیایی ٬ انباشت بخار شیمیایی , اسپری پایرولیزیز مورد مطالعه قرار گرفت. زیرلایه مورد استفاده برای روش انباشت بخار شیمیایی و اکسایش آندی ورقه تیتانیوم ولی برای روش اسپری پایرولیزیز سیلیکون نوع p با راستای (100) می باشد. چند نمونه با روش اکسایش شیمیایی با استفاده از محلول الکترولیت اتیلن گلیکول به همراه آمونیوم فلوراید (به عنوان اسید) با غلظت 10% آب در محلول الکترولیت آماده شدند. ولتاژ انتخاب شده برای این نمونه ها ۶۰ ولت و در دمای ℃500 بازپخت شده اند. تصاویر FESEM حاکی از شکل گیری نانو لوله های دی اکسید تیتانیم می باشد طیف XRD نشانگر شکل گیری فاز آناتاز با راستای رشد ترجیحی (101) می باشد. همچنین خواص پاسخ گازی نانولوله برای یخار استون ٬ اتانول٬ بخار آب و آمونیاک در دماها و غلظتهای مختلف مورد بررسی قرار گرفت که با توجه به نتایج بدست آمده٬ دمای کار به ترتیب برابر ℃200 ٬ ℃300 ٬ ℃300 و ℃250 می باشد. نانوصفحه های دی اکسید تیتانیم با استفاده از روش انباشت بخار شیمیایی تهیه شدند. دمای انتخابی منبع جهت رشد نمونه ها ℃ 850 می باشد. تصاویر FESEM شکل گیری نانو صفحه های دی اکسید تیتانیم را نشان می دهد. طیف XRD نمونه حاکی از تشکیل فاز روتایل تتراگونال با راستای ترجیحی (110) می باشد خواص حسگری نمونه نسبت به بخار استون در دمای کار ℃250 بررسی شد.همچنین نانوذرات TıO 2 با اسپری پایرولیزیز تهیه شد. الگوی پراش پرتو ایکس نشان دهنده تشکیل فاز بلوری آناتاز با راستای ترجیحی (101) می باشد.پاسخ گازی نمونه ها نسبت به بخار استون در دمای کار ℃300 مورد بررسی قرار گرفت.