چکیده: در این تحقیق تجربی مورفولوژی، خواص ساختاری و اپتیکی نانوساختارهای اکسید روی خالص رشد داده شده به روشهای اسپری پایرولیزیز و تبخیر حرارتی را بر روی زیرلایه های شیشه، ITO و سیلیکون مورد بررسی قرار داده ایم. در این مطالعه از دستگاه های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش اشعه X(XRD)، طیف سنجی UV-Vis-NIR و فوتولومینسانس (PL) استفاده کرده ایم. در نمونه های رشد یافته به روش اسپری پایرولیزیز با استفاده از محلول 1/0 مولار کلرید روی در دماهای زیرلایه ای مختلف دریافتیم: نمونه ها از ویژگی نانوساختاری همراه با ساختار بسبلوری ورتزایت با راستای ترجیحی (002) برخوردارند. تحلیل داده های اپتیکی حاکی از آن است که با افزایش دمای زیرلایه (400-550 درجه سلسیوس) ضریب عبور اپتیکی، ضخامت لایه ها و گاف نواری لایه ها کاهش می یابد. در نمونه های رشد یافته به روش تبخیر حرارتی نانو ساختارهای ZnO با استفاده از پودر Zn خالص (% 9/99) در حضور گاز اکسیژن، به عنوان گاز واکنش دهنده، سنتز شدند. در این مرحله تاثیر دمای بوته، فاصله زیرلایه تا بوته و اثر نوع زیرلایه (Si و ITO) بر خواص فیزیکی لایه های رشد داده شده مورد بررسی قرار گرفتند. دریافتیم نمونه ها همگی داری فاز بسبلوری با ساختار ورتزایت بوده و سطح نمونه از انواع گوناگون ساختارهای نانومتری شامل نانومیله ها، نانوسیم ها، میکرو قفس ها، نانو ساختارهای گل مانند و چهارپا گونه پوشیده شده است.