چکیده: در این تحقیق ابتدا لایه های اکسید روی (ZnO) به روش حمام شیمیایی رسوب گذاری شدند و خواص فیزیکی و آشکارسازی نوری نمونه های لایه نشانی شده بر روی زیرلایه های شیشه و تفلون در شرایط تخت و متخلخل با پیکربندی فلز-نیمرسانا-فلز (MSM) تحت تابش نور LED فرابنفش و نیز فوتودیودی (با زیرلایه سیلیکون) تحت تابش LED های مختلف نور مرئی مورد بررسی قرار گرفت. سپس به مطالعه ی لایه های ZnO رشد داده شده به روش اسپری پایرولیز به منظور دستیابی به شرایط بهینه ی رشد لایه ای با بالاترین شفافیت و رسانندگی الکتریکی به طور همزمان پرداختیم. برای مشخصه یابی فیزیکی نمونه ها از دستگاه های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، طیف سنجی پاشندگی انرژی پرتو ایکس(EDX)، پراش پرتو ایکس(XRD)، طیف سنجی رامان (Raman)، طیف سنجی اپتیکی فرابنفش-مرئی (UV-Vis)، طیف سنجی فوتولومینسانس(PL)، اندازه گیری اثر هال و اندازه گیری جریان-ولتاژ (I-V) و جریان-زمان (I-t) در شرایط تاریکی و تحت تابش نور استفاده شد. در گام نخست، به بررسی خواص فیزیکی و خصوصیات آشکارسازی نور فرابنفش (UV) لایه های ZnO رسوب گذاری شده به روش حمام شیمیایی (CBD) بر روی زیرلایه های شیشه و تفلون انعطاف پذیر تخت و متخلخل، یکبار با لایه بذر به روش کندوپاش و بار دیگر با لایه بذر به روش پوشش دهی چرخشی، پرداختیم. سپس به بررسی تاثیر غلظت محلول بر روی خواص فیزیکی و فوتورسانایی لایه ها پرداختیم. معلوم شد که نمونه های با غلظت M05/0 برروی زیرلایه های شیشه و تفلون بیشترین حساسیت نوری به تابش نور فرابنفش را در مقایسه با سایر نمونه ها دارد. در ادامه، با جایگزینی زیرلایه ی p-Si، به بررسی تاثیر غلظت محلول ZnO بر خواص فیزیکی و نیز مشخصه های الکتریکی و اپتوالکتریکی فوتودیودهای p-Si/n-Zn ساخته شده تحت تابش LED های مرئی پرداختیم. معلوم شد که نمونه ی سنتز شده با غلظتM 05/0 با برخورداری از حساسیت نوری (S) و پاسخدهی (R*) بترتیب برابر 460، mA/W 31 برای نور آبی، 201، mA/W 14برای نور سبز و 190، mA/W 13برای نور قرمز بالاترین مقادیر را نسبت به نمونه های دیگر نشان داد. سرانجام، به منظور دستیابی به شرایط بهینه ی رشد لایه اکسید روی با بالاترین شفافیت و رسانندگی الکتریکی همزمان، به مطالعه ی پارامترهای گوناگون شامل تاثیر دمای زیرلایه، غلظت محلول، حجم اسید استیک در محلول و آلایش Al به روش اسپری پایرولیز پرداختیم. نتایج حاکی از آن است که نمونه ی بهینه دارای ضریب بهینگی (Ω-1 4-10×68/2) می باشد که در مقایسه با دیگر گزارشات در حدود 5/1 برابر بیشتر است.