چکیده: با توجه به اهمیت ویژگی های سطحی مواد ضروری است که خصوصیات سطحی مواد اصلاح گردد. توسعه پژوهش های در دست انجام در حوزه فیزیک و مهندسی سطح معرف اهمیت این حوزه بویژه در کاربردهای صنعتی آن می باشد. به عنوان مثال بسیاری از قطعات فلزی برای کاربرد های صنعتی نیاز به اصلاح رفتارهای مکانیکی، حرارتی و اپتیکی دارند و لازم است که در برابر سایش و یا شوک های حرارتی مقاوم تر شوند. مثلا ابزار های برش کاری و سوراخ کاری، قالب های ضربه ای و تزریق پلاستیک که در مقابل فرآیند های مکانیکی و شوک های حرارتی احتیاج به بهبود خواص سطحی دارند. یکی از گزینه های موجود برای اصلاح خصوصیات مکانیکی و حرارتی سطوح فلزی، استفاده از نانو پوشش های سرامیکی است. از طرف دیگر گاهی اوقات صنعت به پوشش هایی نیاز دارد که علاوه بر سختی بالا باید شفافیت اپتیکی خوبی نیز داشته باشند. در این پژوهش پوشش دهی لایه های سرامیکی تیتانا و سیلیکا که از آلکواکسید های سیلیکون و تیتانیوم تهیه شده اند به عنوان پوشش های سرامیکی بروی زیر لایه های، فلزی مورد تحقیق قرار گرفته است. برای پوشش دهی این لایه ها با توجه به هدف دستیابی به روش های قابل صنعتی شدن، روش غوطه وری انتخاب شده است زیرا علاوه بر امکان صنعتی سازی آسان و ارزان، امکان لایه نشانی یکنواخت برای قطعات با اشکال هندسی پیچیده را نیز فراهم می-سازد. نمونه های سنتز و لایه نشانی شده با درصد ترکیبی مختلف، شرایط سنتز و لایه نشانی متفاوت، تحت آنالیزهای ساختاری، اپتیکی و مکانیکی قرار گرفتند. الگوی پراشXRD وجود فاز آمورف ترکیبات بویژه برای SiO2 را به خوبی نشان می دهد. هم چنین وجود پیوند های Si-O-Si و Ti-O-Tiو Ti-O-Si در آنالیز FTIR دیده می شود. ضخامت و یکنواختی پوشش در آنالیزهایSEM قابل مشاهده است و تاثیر ویسکوزیته در یکنواختی پوشش دهی نشان داده شده است. همچنین آنالیز UV-Vis گذر هی بالای طیف اپتیکی و درصد بسیار کم جذب نور را نشان می دهد. آنالیزهای سختی سنجی و مقاومت در مقابل سایش به همراه آنالیزهای ذکر شده معرف آن است که کیفیت نمونه های بدست آمده از نظر ویژگی های مکانیکی و اپتیکی مطلوب است و با توجه به نیازهای موجود صنعتی به پوشش های ضد خش و شفاف و نیز ملاحظات مربوط به مکانیزم سنتز و لایه نشانی قطعات فلزی، پتانسیل لازم برای توسعه این تحقیق در مقیاس نیمه صنعتی وجود دارد.