چکیده: در این تحقیق به مطالعه حسگری گازهای اکسیژن و دی اکسید کربن توسط لایه نازکی از اکسید قلع که به روش اسپری پایرولیزیز تهیه شده اند، پرداخته ایم. در این کار تاثیر پارامترهای مختلف لایه نشانی از جمله دمای لایه نشانی، حجم محلول اسپری، بازپخت و نیز اثر آلایش ناخالصی (در اینجا اتم های) کبالت در ساختار لایه و نیز مورفولوژی سطح که در حسگری گازی نیز موثرند را مورد بررسی قرار داده ایم. برای مشخصه یابی ساختاری و آنالیز سطحی نمونه ها از طیف پراش پرتو ایکس (XRD) و تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) استفاده کردیم. همچنین برای بدست آوردن ضخامت لایه ها طیف UV-VIS نمونه ها گرفته شده است. نتایج بدست آمده حاکی از آن است که پارامترهایی همچون سمت گیری ترجیحی صفحات بلوری، ابعاد بلورک ها و دانه بندی سطح نقش مهمی در میزان حساسیت قطعه حسگر ایفا می کند.