چکیده: در این پایانامه به بررسی ساختار، خواص اپتیکی و مورفولوژی سطح لایه های نازک کربن شبه الماسی که به روش کندوپاش مغناطیسی جریان مستقیم لایه نشانی شده اند پرداخته شده است. در این پژوهش اثر دو پارامتر توان کندوپاش و شار گاز آرگون بر خواص لایه های نازک کربن شبه الماسی مورد مطالعه قرار گرفته است و نتایج نشان می دهند که این دو پارامتر تاثیر زیادی بر خواص اپتیکی، ساختاری و مورفولوژی لایه های آمورف کربنی دارند. ساختار فیلم ها و بررسی تغییرات پیوندهای گرافیت گونه ی sp2 و الماس گونه ی sp3 با استفاده از طیف سنجی رامان صورت گرفت. مشاهده می شود که در شار ثابت sccm 8 گاز آرگون، با افزایش توان لایه نشانی، پیوندهای sp3 افزایش می یابند. همچنین مشاهده شد که در توان ثابت 100 وات، با افزایش شار گاز آرگون، پیوندهای sp2 افزایش می یابند. خواص اپتیکی فیلم ها مانند ضریب شکست و ضریب خاموشی با استفاده از روش بیضی سنجی به دست آمده و با استفاده از آن ها گاف نواری محاسبه شده است و نتایج نشان می دهند که با افزایش پیوندهای گرافیتی sp2 گاف نواری کاهش می یابد. توپوگرافی و زبری سطح فیلم ها با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی(AFM) محاسبه شده است و مشاهده می شود که با افزایش پیوندهای گرافیتی sp2 زبری متوسط سطح افزایش می یابد. همچنین با استفاده از طیف سنجی نشر نوری به مطالعه ی ترکیبات و رادیکال های فعال در پلاسما پرداخته شده و ارتباط میان آن ها و ساختار لایه ها بررسی شده است.