چکیده: پیشرفت سریع دانش و فن آوری بشر را بر آن داشته است که ابزارهای مطمئن‌‌تر، سریع‌‌تر و دقیق‌‌تری را برای رفع نیازهای خود به کار گیرد. طیف وسیعی از تجهیزات مورد استفاده در صنعت و تحقیقات و زندگی روزمره وابسته به عملکرد حسگرها است که انواع حسگرها شامل دما، رطوبت، گاز، فشار، نور و غیره به طور وسیعی مورد استفاده قرار می‌‌گیرد. ولی با توجه به ضرورت اصلاح عملکرد آن‌‌ها تحقیقات گسترده‌‌ای در زمینه حسگرها در حال انجام است. این پایان نامه تلاش دارد تا در زمینه اهمیت شکل هندسی الکترودها در حسگرهای گازی نانوساختار به تحقیق بپردازد. بر این اساس در این پروژه ابتدا معرفی حسگرهای گازی نانوساختار، اهمیت این حسگرها و کاربرد آن‌‌ها مورد بحث قرار خواهد گرفت و سپس پارامترهای مهم در این حسگرها بررسی می شوند. در ادامه مروری بر کارهای تحقیقاتی انجام شده برای اصلاح ساختار و عملکرد حسگرهای گازی نانوساختار صورت می‌‌گیرد و به نقش الکترودها در فرایند حسگری توجه خواهد شد. پس از آن مراحل ساخت حسگرهای مورد استفاده تشریح خواهد شد و نتایج به‌‌دست آمده از این پروژه مورد بحث و بررسی قرار خواهد گرفت. نتایج به دست آمده در این تحقیق نشان می دهد که اکسید روی (ZnO) سنتز شده به روش تبخیر فیزیکی دارای الگوی پراشی ساختار شش گوشی است که توسط پراش پرتو ایکس این ساختار تایید گردید. تصاویر FESEM نشان گر شکل گیری رشد نانوسیم ها با قطر متوسط حدود 35 نانومتر است. سه نمونه از قطعات حسگری با اشکال هندسی متفاوت برای الکترودها طراحی و ساخته شد و توسط آن ها حسگری اتانول در شرایط متفاوت انجام شد. نتایج تجربی نشان می دهند که حسگر با الکترود مربعی-مارپیچی حساسیتی برابر با 43% برای ppm 2000 بخار اتانول در دمای 200 درجه سانتی گراد از خود نشان می دهد در حالی که حسگر با الکترود شانه ای در شرایط مشابه حساسیت معادل 32% را از خود نشان می دهد. زمان پاسخ دهی برای الکترود شانه ای (4s) کوتاهتر از نوع مربعی- مارپیچی (10 s) است و زمان بازیافت (7.5 s) تقریبا مستقل از هندسه الکترود است. بنابراین بر حسب کاربرد باید حالت بهینه انتخاب شود.