چکیده: یکی از مطالعات اخیر در علم مکانیک سیالات، تحلیل میکروسیالات در میکروپمپ ها است. تاکنون روش‌های گوناگونی برای افزایش بهره وری میکروپمپ های الکترواسمزی مانند استفاده از الکترودهای پله ای توسعه پیدا کرده است. اغلب، مطالعه دقیقی بر روی مدل سازی و بهینه سازی هندسی الکترودهای پله ای انجام نشده است و لذا همواره جستجوی روش‌هایی که بتواند بر چنین مشکلاتی فائق آید، در حوزه میکروپمپ ها پرجاذبه است. در مطالعه حاضر به منظور ساخت میکروپمپ الکترواسمزی، هندسه ای شامل الکترودهای پله-ای طراحی شد. برای تحلیل چنین جریان هایی لازم است پارامترهای هندسی الکترودها را بهینه نمود. به منظور بهینه سازی، پارامترهای مختلف از جمله عرض و ارتفاع پله ها بر روی هر الکترود و محل قرارگیری آنها، اندازه هر الکترود، تقارن یا عدم تقارن و فاصله جفت الکترودها و همچنین مشخصات الکتریکی (شامل ولتاژ و فرکانس) بررسی و جریان سیال درون یک کانال دارای الکترود پله ای تحلیل شده است. معادلات حاکم بر جریان و همچنین معادلات میدان الکتریکی به روش اجزای محدود کوپل و در نرم افزار کامسول حل شده اند. این امر جهت بررسی تاثیر پارامترهای هندسی الکترود بر سرعت لغزشی الکترواسمزی و در نهایت تاثیر آن بر جریان سیال صورت گرفته است. برای معتبرسازی حل عددی، تراشه بهینه با استفاده از روش فتولیتوگرافی شامل مراحلی چون لایه نشانی الکترود پلاتین بر روی شیشه لام، ایجاد پله ها بر روی الکترود با استفاده از پلیمر (SU8) و ساخت میکروکانال از جنس PDMS در محیط آزمایشگاه ساخته شده است. سیال مورد استفاده جهت پمپاژ در این کار، محلول الکترولیت KCl با هدایت الکتریکی s⁄m0015/0 انتخاب شد. از جمله نتایج کار آزمایشگاهی می توان به محاسبه سرعت، دبی و فشار پمپ در فرکانس و ولتاژهای مختلف اشاره کرد که با نتایج مدل سازی عددی اختلاف نسبی 82/2 درصد دارد. در نهایت با توجه به بهینه سازی انجام شده، پارامترهای مهم محل قرارگیری پله بر روی الکترود (µm50)، عرض پله (µm30) و ارتفاع آن (µm5) بدست آمد که با توجه به ابعاد، فرکانس 1kHz و ولتاژ V5/2، مقدار سرعت، دبی و فشار به ترتیب برابر با mm⁄(s )77/1، (µL)⁄(min )9/14 و Pa6/74 است. نتایج حاصل از این طراحی، پمپاژ بالایی در پمپ های الکترواسموزی را فراهم می کند.