چکیده: پدیده سایش یکی از مهمترین عوامل تخریب قطعات صنعتی می‌باشد. پوشش‌های سخت روی ابزارها و تجهیزات صنعتی باعث بهبود عملکرد و افزایش عمر آنها می‌شود. برای ارزیابی پوشش‌های لایه نازک سخت، به روش‌ها‌ی قابل اطمینان و معتبری نیاز است. برای انجام این آزمون نیاز به دستگاهی است که دقیق بوده و کارآیی و قیمت مناسبی داشته باشد. برای تحقق این هدف، در این پایان‌نامه، دستگاه آزمون سایش جت میکرو دوغاب (MSE) طراحی و ساخته شد. این دستگاه برای انجام آزمون سایش از ذرات بسیار سخت آلومینا استفاده می‌کند. در دستگاه آزمون MSE دوغاب داخل مخزن تحت فشار مشخصی از واحد نازل عبور کرده و به سطح نمونه برخورد می‌کند و در نهایت برای استفاده مجدد وارد سینی دریافت کننده می‌شود. در این پژوهش بعد از ساخت دستگاه MSE، جهت اطمینان از عملکرد آن، آزمون‌هایی با آب در فشارهای مختلف و سپس آزمون‌هایی با دوغاب تحت فشار‌ها و غلظت‌های مختلف انجام گرفت و تکرارپذیری بسیار خوبی از دستگاه ساخته شده دیده شد. دوغاب شامل ‌ذرات آلومینا با قطر متوسط حدود μm 1 است که اندازه ذرات توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی اندازه‌گیری شد. 3 نمونه با زیر لایه WC، با پوشش های چند لایه نازک TiN، TiCN، Al2O3 و TiAlN به روش CVD لایه‌نشانی شدند. ضخامت لایه پوشش‌ها بین 2 تا μm 7 است. سپس نمونه‌های پوشش داده شده با دستگاه آزمون MSE تحت فشار و غلظت مشخصی مورد آزمون قرار گرفتند و میزان سایش نمونه‌ها توسط دستگاه پروفایل‌متر اندازه‌گیری شد. نتایج نشان دادند که دستگاه آزمون MSE می‌تواند برای مقایسه مقاومت سایشی پوشش‌های نازک سخت استفاده شود.