چکیده: چکیده ماشین‌کاری فوق دقیق که معمولاً به ماشین‌کاری با ابزار تک نقطه الماسی گفته می‌شود به یکی از استراتژیک ترین تکنولوژی‌ها در کشورهای توسعه یافته برای تولید قطعات خاص و شکننده تبدیل شده است. از جمله موانع پیش‌ روی این تکنولوژی، هزینه بالای ابزارهای برشی است. پژوهش حاضر به تحلیل و شناسایی مکانیزم سایش ابزارهای الماس در فرآیند ماشین‌کاری فوق دقیق سیلیکون می‌پردازد. تلاش‌های گسترده محققان در جهت بهینه سازی فرآیندها، نشان‌دهنده اهمیت موضوع بهینه سازی به منظور کاهش هزینه‌ها و افزایش بهره‌وری تولید است. در این تحقیق، تلاش شده است با طراحی مجموعه‌ای ازآزمایش‌ها، تأثیر پارامترهای ماشین‌کاری از جمله سرعت اسپیندل (سرعت برشی)، نرخ براده‌برداری و عمق براده‌برداری بر سایش ابزار و کیفیت سطح قطعات سیلیکونی مورد بررسی قرار گیرد. نتایج به‌دست‌آمده از از دو تست پراش پرتو ایکس و طیف ‌سنجی رامان، بیانگر آمورف شدن لایه‌های سطحی قطعات پس از ماشین‌کاری است. همچنین نتایج بدست آمده از طیف سنجی رامان نشان می‌دهد که با افزایش سرعت برشی، میزان ضخامت لایه آمورف ایجاد شده کاهش می‌یابد. تحلیل سایش ابزار با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی نشان می‌دهد که با افزایش قابل توجه ضخامت براده تغییر شکل نیافته نسبت به حالت بهینه، علی‌رغم میزان سایش کم ابزار، صافی سطح مناسبی تولید نمی‌گردد. نتایج استخراج شده در این پژوهش نشان می‌دهد، ضخامت براده تغییر شکل نیافته 106.5 nm همراه با پارامترهای سرعت اسپیندل 1500 rpm، نرخ تغذیه 3 µm/rev و عمق بار 1µm، بهینه‌ترین حالت می‌باشند.