چکیده: در این تحقیق، لایه‌های نازک اکسید تنگستن آلاییده با روی (WO3 : Zn) و اکسید تنگستن آلاییده با آنتیموان (WO3 : Sb) به روش اسپری پایرولیزیز بر روی زیرلایه های شیشه ای تهیه شده است. تاثیر آلایش روی و آنتیموان بر روی خواص ساختاری، اپتیکی و ولتامتری این لایه ها بررسی شد. برای تهیه لایه های نازک WO3 آلایش یافته با Zn نسبت های اتمی متفاوت روی (0، 2، 5، 10 و 20 درصد اتمی) به محلول اضافه شد. در مورد لایه‌های WO3 آلایش یافته با Sb نسبت های اتمی مختلف آنتیموان (0، 1، 2، 5، 10 و 20 درصد اتمی) در محلول اولیه تغییر داده شد. نتایج آنالیز XRD تشکیل فاز تک میلی WO3 را در نمونه بدون آلایش نشان داد. شدت قله های مربوط به فاز WO3 با افزایش سطح آلایش Zn تا at % 5 کاهش یافت. افزایش بیشتر سطح آلایش روی تا 10 و 20 درصد اتمی باعث ظهور فاز ZnWO4 شد. مقادیر گاف نواری نمونه ها در گستره 3.4 تا 4 الکترون ولت به دست آمد. بررسی خواص الکتروکرومیک نشان داد که نمونه WO3 آلاییده با 10 درصد اتمی Zn بیشترین تغییر رنگ را دارد. در نمونه (% Sb doped WO3 (2 at فاز Sb2O3 مشاهده شد. هم چنین در نمونه های با درصد آنتیموان بالاتر از at.% 5 فاز Sb_0.15 WO3 ظاهر شد. تصاویر FESEM لایه ها نشان داد که دانه ها به صورت میکروکره ها رشد کرده اند. همچنین در این پایان نامه بررسی هایی در مورد رشد لایه نازک WS2 با استفاده از سولفوری کردن WO3 در کوره در دمای °c 600 انجام گردید.