چکیده: در این پایان‌نامه، دو حسگر جدید مکانیکی با حساسیت بالا و اتلاف کم، مبتنی بر موجبر فاصله هوایی شیاردار طراحی و ارائه شده‌اند. حسگر اول بر اساس یک ساختار تداخل‌سنج طراحی شده است که استفاده از تداخل‌سنجی در آن، موجب حذف اثرات محیطی مانند گرما و رطوبت بر نتایج‌ خروجی و افزایش حساسیت می‌شود. در این حسگر، مسیر ورودی ابتدا توسط یک اتصال T تقسیم شده و سپس در خروجی تجمیع می‌‌شود. در یکی از مسیرهای تداخل‌سنج، از یک شاخه سری و اتصال کوتاه استفاده شده که منجر به ایجاد اختلاف فاز 180 درجه می‌شود. این اختلاف فاز باعث خنثی‌سازی دو سیگنال هنگام تجمیع و ایجاد صفر انتقال در پاسخ فرکانسی می‌شود. محل این صفر انتقال با تغییر طول فیزیکی یا الکتریکی این شاخه سری قابل کنترل است. در حسگر دوم، از دو شاخه سری و اتصال کوتاه در مسیر خط انتقال استفاده شده است. آرایش قرارگیری این شاخه‌ها به‌گونه‌ای است امکان جابجایی در دو بعد را فراهم می‌کند. این پایان‌نامه تأثیر تیغه‌های عایق در محل یک شاخه اتصال کوتاه را در ساختار موجبر فاصله هوایی بررسی کرده است که باعث تغییر طول الکتریکی میدان و جابجایی محل صفر انتقال می‌شود. به‌طور میانگین، در حسگر اول برای هر نیم میلیمتر جابجایی و ورود تیغه‌های عایق از جنس PTFE به داخل شاخه اتصال کوتاه، 50 MHz جابجایی فرکانس صفر انتقال در بازه 10/4 GHz تا 11/2 GHz مشاهده شده است. در حسگر دوم، این جابجایی در هر دو مسیر برای هر میلیمتر ورود تیغه‌های عایق، به 65 MHz در بازه 9/35 GHz تا 11 GHz می‌رسد. صحت‌سنجی حسگر اول توسط فرآیند ساخت و اندازه‌گیری و حسگر دوم توسط فرآیند شبیه‌سازی تأیید شده است. این حسگرها دارای قابلیت مقیاس‌پذیری و استفاده در فرکانس‌های بالاتر می‌باشند.