چکیده: پلاسمای تخلیه سد دی الکتریک سطحی یک سیستم پلاسمای غیر تعادلی است که در آن یک میدان الکتریکی متناوب بین دو الکترود اعمال می‌شود. این پلاسما دارای خواص میکروسکوپیکی منحصر به فردی است که آن را برای کاربردهای مختلفی، مانند میکروب زدایی، اصلاح سطح و فرآوری مواد غذایی، مناسب می‌سازد. اندازه گیری پارامتر‌هایی مانند چگالی و دمای الکترون و بهینه ساختن پارامتر‌های تعیین کننده آن به صورت تجربی و آزمایشگاهی بسیار دشوار و پر هزینه (عملا غیر مقرون به صرفه) است، در این شرایط شبیه سازی راه حلی راهگشا خواهد بود. در این پایان نامه، با استفاده از نرم افزار شبیه‌سازی عددیCOMSOL Multiphysics، توزیع میدان و پتانسیل اعمالی در ساختار‌های مختلف الکترود، T-Tree، لانه زنبوری، شانه‌ای و توری بدست آمد. همچنین تاثیر تغییر ولتاژ، هندسه الکترود، ضخامت و جنس دی الکتریک و شکل ولتاژ بر خواص پلاسمای SDBD مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان می‌دهد که این پارامترها می‌توانند تاثیر قابل توجهی بر خصوصیاتی مانند چگالی پلاسما و توزیع گونه‌های موجود داشته باشند. نتایج نشان داد میدان الکتریکی در اطراف الکترود بیشینه مقدار را داراست و همچنین به طور کلی، افزایش ولتاژ، هندسه الکترود نوک تیز، ضخامت دی الکتریک کم، و جنس دی الکتریک با ضریب دی الکتریک بالا باعث افزایش چگالی پلاسما می‌شوند. همچنین، شکل ولتاژ تاثیر مستقیمی بر بیشینه‌ی چگالی گونه‌های موجود دارد. این نتایج می‌تواند برای طراحی و بهینه‌سازی سیستم‌های SDBD برای کاربردهای مختلف مورد استفاده قرار گیرد.