چکیده: امروزه از اصول مختلفی برای تشخیص گاز استفاده می شود. حسگر گاز یک نوع مبدل است که مولکول های گاز را آشکارسازی و متناسب با غلظت گاز موردنظر، سیگنال تولید می کند. از میان انواع حسگرهای گاز، نیمه-هادی های اکسید فلزی از نوید بخش ترین حسگرهای گاز هستند که برای اندازه گیری گازها حتی در غلظت-های کم استفاده شده اند. در این پایان نامه به بررسی استفاده از نانوساختارهای اکسید روی به عنوان حسگرگازی جهت شناسایی بخار اتانول پرداخته شده است. بدین منظور نانومیله های اکسید روی و لایه های نازک اکسید روی سنتز شدند. برای سنتز نانومیله های اکسید روی از یک روش دومرحله ای استفاده گردید. در مرحله اول با استفاده از روش لایه نشانی چرخشی یک لایه ی نازک از اکسید روی به عنوان لایه ی بذر بر روی زیرلایه شیشه لایه نشانی گردید. غلظت محلول لایه نشانی لایه ی بذر به عنوان یک پارامتر متغیر در نظر گرفته شد. سپس با استفاده از روش سل-ژل (غوطه وری) نانومیله های اکسید روی بر روی لایه بذر سنتز گردید. برای سنتز لایه های نازک اکسید روی از دو روش لایه نشانی غوطه وری و لایه نشانی با سامانه لیزر پالسی استفاده گردید. مطالعه ی ساختاری و مورفولوژی کلیه نمونه ها با دستگاه های پراش پرتو پراش ایکس و میکروسکوپ الکترونی صورت گرفت. علاوه بر این خواص اپتیکی نمونه ها با استفاده از دستگاه طیف سنجی مرئی-فرابنفش صورت گرفت. برای بررسی خواص حسگری نمونه ها از یک چیدمان حسگری استفاده گردید و مقاومت الکتریکی نمونه ها در معرض بخار اتانول ثبت گردید. هفت نوع مختلف از نانوساختارهای اکسید روی تهیه شد و به عنوان حسگر مورد بررسی قرار گرفت. نتایج تست حسگری برای نمونه های نانومیله های اکسید روی (رشد داده شده به کمک لایه بذر)، نشان می دهد که این نمونه ها پتانسل بالاتری برای استفاده به عنوان حسگر گازی در مقایسه با نمونه های لایه نازک اکسید روی (تهیه شده به کمک غوطه وری و لیزر پالسی) برای تشخیص گاز اتانول هستند. بالاترین میزان حساسیت حسگر به ppm100 گاز اتانول برای نمونه های لایه ی نازک در دمای oC 220 حدود 27درصد می باشد که در حدود 10 درصد کمتر از پاسخ تهیه شده از نانومیله-های اکسید روی می باشد. علاوه براین زمان پاسخ نیز در حسگرهای بر پایه نانومیله ها کمتر از حسگرهای مبتنی بر نمونه های لایه نازک هستند که این یک مزیت فوق العاده محسوب می گردد.