چکیده: پوشش‌های سخت کروم آلومینیوم نیترید دارای ساختارمکعبی NaCl می‌باشند، با توجه به ویژگی‌های مکانیکی چشمگیر و تریبولوژیکی قابل‌توجه و پایداری حرارتی بالا این نوع پوشش‌ها به‌طور عمده به ‌عنوان لایه مقاوم در قالب‌های شکل‌دهی فلزات، قالب‌های ریخته‌گری پلاستیک و اجزای تحت سایش استفاده می‌شود. در این تحقیق پوشش CrAlN با استفاده از روش تبخیر قوس کاتدی بر روی زیرلایه فولاد زنگ نزن ۴۲۰ اعمال گردید. هدف از انجام این کار، بهبود سرعت لایه نشانی به همراه کاهش میزان زبری سطح از 0/6 میکرومتر به 0/4 میکرومتر بود. در مرحله اول با ثابت بودن پارامترهای دستگاهی نظیر جریان، ولتاژ قوس، فرکانس، و ولتاژ بایاس، متغیر چرخه کار را در ۴ مقدار۲۰%، ۴۰%، ۶۰%، ۸۰% به‌طور مجزا در هنگام پوشش دهی اعمال نموده و بعد از به دست آوردن مقدار بهینه چرخه کار، در مرحله دوم تاثیر متغیر ولتاژ بایاس در ۳ مقدار ۵۰- ، ۱۰۰- و ۱۵۰- ولت به‌طور جداگانه روی خواص مکانیکی و تریبولوژیکی پوشش‌ها مورد بررسی قرار گرفت. ریزساختار و ضخامت پوشش‌ها با استفاده از میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)، شناسایی فازهای تشکیل‌شده و تعیین ساختار بلوری به کمک پراش اشعه ایکس(XRD) مورد بررسی قرار گرفت. خواص مکانیکی پوشش‌ها شامل سختی و مدول یانگ توسط دستگاه نانوفرورنده تعیین شد. مقاومت به خوردگی با استفاده از آزمون‌های خوردگی (امپدانس الکتروشیمیایی و آزمون تافل) مورد بررسی قرار گرفت. در مرحله اول و با افزایش چرخه کار، ضخامت لایه‌ها از 2/07 به 1/56 میکرومتر و در مرحله دوم با افزایش ولتاژ بایاس از 1/08 به 1/74 میکرومتر روند کاهشی داشته است. خواص مکانیکی و مدول یانگ نیز در هر دو مرحله با افزایش پارامترهای ذکرشده در مرحله اول به ترتیب از 18/89 به 79/37 گیگا پاسکال افزایش ‌یافته و در مرحله دوم از 40/26 به 96/23 گیگا پاسکال کاهش‌یافته است. میزان دانسیته جریان خوردگی پوشش‌ها نیز در مرحله اول از 2/27به 3/40 میکرو آمپر بر سانتی مربع افزایش‌یافته و در مرحله دوم نیز از 2/29 به 15/1 میکرو آمپر بر سانتی مربع کاهش‌یافته است.