چکیده: در این پروژه ساخت حس‌گر گازی با استفاده از اتصال فلز-نیمه‌هادی-فلز که شامل فلزهای تیتانیوم Ti و طلا Au و نانولوله‌کربنی به‌صورت عمودی تراز‌شده (VACNT) که به عنوان نیمه‌هادی است. در این پروژه از روش لایه نشانی رسوب شیمیای با پلاسمای افزایش‌یافته با استفاده از فلز کاتالیزگر نیکل Ni که در فاصله‌ی گپ میان دو الکترود فلزی به اندازه ۸۰ میکرومتر و مساحت ۴ میلی‌متر مربع رشد یافته، استفاده شده است است. در آزمایش‌هایی غلظت‌های مختلفی در محدودهppm ۵۰۰ تا ۱۵۰۰ از سه گاز NO۲ ، N۲ و گاز استون در محفظه‌ای در دمای اتاق و بدون نیاز به گرمادهی به حس‌گر تزریق شده و تغییرات جریان الکتریکی حس‌گر در ولتاژ ثابت ۲ ولت اندازه‌گیری شده و سپس با توجه به تغییرات مقاومت حس‌گر نسبت به هر گاز و میزان تغییرات حساسیت حس‌گر محاسبه و نشان داده ‌شده است. برای غلظت ماکزیمم ۱۵۰۰ppm آزمایشات حسگری این پروژه برای سه گاز NO۲، N۲ و استون به ترتیب حساسیت %۱۳، %۳۳ و %۶/۵ بدست می‌آید.