چکیده: در این تحقیق ما به مطالعه مورفولوژی، خواص ساختاری، اپتیکی، الکتریکی و ترمو-الکتریکی لایه های اکسید تنگستن (WO3) خالص و آلایش یافته بر روی زیرلایه شیشه که به روش اسپری پایرولیزیز رشد داده شده اند، پرداخته ایم. برای مشخصه یابی نمونه ها از دستگاه های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM)، پراش پرتو ایکس (XRD)، طیف سنجی UV.Vis.NIR، مشخصه جریان – ولتاژ (I-V) و آزمایش اثر سیبک استفاده کرده ایم. در نمونه های رشد یافته از محلول آمونیوم تنگستات ((NH4)2WO4)، تهیه شده از پودر اکسید تنگستن خالص (9/99 درصد) و محلول آمونیاک استفاده شده است. در این تحقیق پارامتر های متغیر عبارتند از: غلظت محلول، آهنگ اسپری و بازپخت نمونه ها در محیط هوا، و سرانجام اثر آلایش نمونه ها با اتم های مس (WO3:Cu) و لیتیوم (WO3: Li) بترتیب با استفاده از نمک های کلرید لیتیوم (LiCl) و استات مس (Cu(CH3COO)2.H2O).